期刊文献+

新型超高纯CuMn合金溅射靶材的微观组织表征

Microstructure Characterization of Novel Ultra-high Purity Cu-Mn Alloy Sputtering Target
下载PDF
导出
摘要 本文研究了交叉轧制变形态高纯Cu-0.8at%Mn合金的显微组织和织构。结果显示,该6N(纯度99.9999%)CuMn合金(100)和(110)晶面择优取向,小角度晶界占比达76%。 In this paper,the microstructure and texture of high purity cu-0.8at%Mn alloy with cross rolling deformation have been studied.The results show that the(100)and(110)crystal planes of the 6N(99.9999%)cumn alloy are oriented preferentially,and the proportion of small angle grain boundary is 76%.
作者 王少平 姚力军 钟伟华 杨辉 WANG Shao-ping;YAO Li-jun;ZHONG Wei-hua;YANG Hui(College of Material Science and Engineering,University of Zhejiang,Hangzhou310000,China;Konfoong Materials International Co.,Ltd,Ningbo 315400,China)
出处 《世界有色金属》 2021年第10期115-116,共2页 World Nonferrous Metals
关键词 铜合金 溅射靶材 显微组织 台阶覆盖率 Copper alloy Sputtering target Microstructure Step coverage
  • 相关文献

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部