基于PMAC的离子注入机运动控制原理与实现

Principle and realization of motion control of ion implanter based on PMAC

运动控制系统在离子注入机系统中起到晶元机械传输、高精度位置控制、高精度的速度控制的作用。同时,位置测量、基于位置的数据采集和工艺流程的实施,均离不开运动控制技术的有力支撑。通过对运动控制基本原理的论述,结合PMAC光纤伺服系统、硬件系统架构和组成,完成了离子注入机的运动控制系统实施方案,并重点就全闭环、晶元定向和晶元MAP等关键技术予以展开。