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一种常压氧化炉热氧工艺研究

Study on Heat Oxygen Process of Atmospheric Pressure Oxidation Furnace
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摘要 本文针对PERC(钝化发射极背面接触)电池生产中,常压氧化制备氧化层热氧亲水性较差的问题,通过优化调整常压氧化工艺沉积温度,并经亲水性、EL(电致发光)、EQE(外量子效率)、电性能测试等测试表征,研究表明:常压条件下进行氧化层制备,较低的沉积温度下,沉积速率较大,其所沉积氧化层致密度高,钝化效果好。
作者 赵彩霞 张波 杨飞飞 孟秀峰 ZHAO Caixia;ZHANG Bo;YANG Feifei;MENG Xiufeng
出处 《山西能源学院学报》 2021年第4期94-96,共3页 Journal of Shanxi Institute of Energy
基金 2018年山西省重点研发计划基金项目“高效多晶黑硅+PERC太阳能双面电池及密栅组件技术开发”(项目编号:201803D421097)阶段性研究成果 2019年山西省重点研发计划基金项目“双面双玻半片太阳能电池及组件技术开发”(项目编号:201903D121019)阶段性研究成果。
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