纳米三坐标测量机研究进展

随着纳米技术的发展,各种微型器件在纳米体系下表现出新的特征和功能,为了保证微型器件的产品生产与质量控制,高精度、小体积、纳米级三坐标测量机的研制与开发引起了科研工作者的极大关注。简要归纳和总结近些年国内外纳米三坐标测量机的发展状况,指出纳米三坐标测量机的技术指标,分析其提高测量精度的机理,为纳米三坐标测量机的进一步发展提供研究基础。同时简要展望纳米三坐标测量机的发展趋势,指出影响其测量精度的主要因素。