PECVD工序硅片上下料时掉片的解决措施

在太阳能电池片的生产工艺流程中,镀膜(PECVD)工序硅片的自动化传输由全自动石墨舟上下料装机完成。通过对机械精度的调整和优化机器人运动轨迹,制定了针对机器人插片时掉片这一问题的解决措施。氮化硅薄膜具备较好的阻隔钠离子、掩蔽金属以及水蒸气散发的功能,可以加强在硅片上进行光的投射,降低反射,由此加强硅片的光电转化效果。镀膜工艺是制备高效晶体硅太阳能电池的重要步骤之一,通过PECVD镀膜制作较高效率的晶体硅太阳能电池片,这对大范围运用太阳能发电具备及其关键的含义。