期刊文献+

集成电路制造工厂的冰水系统阀门维护

Analysis of Valve Maintenance in Chilled Water System of Facility in Integrated Circuit Manufacturing
下载PDF
导出
摘要 基于某集成电路制造企业的厂务冰水系统阀门老化的案例,阐述运用全面质量管理理论(五要素分析法),分析影响阀门老化的因素及对应的预防措施。 Based on the case of valve aging of factory ice water system in an integrated circuit manufacturing enterprise,this paper expounds the factors affecting valve aging and corresponding preventive measures by using total quality management theory(five factor analysis method).
作者 白新明 彭博 郭静涛 BAI Xinming;PENG Bo;GUO Jingtao(Wuhan Xinxin Semiconductor Manufacturing Co.,Ltd.,Hubei 430223,China)
出处 《集成电路应用》 2021年第9期20-22,共3页 Application of IC
关键词 集成电路制造 失效分析 厂务冰水 integrated circuit manufacturing failure analysis factory affairs ice water
  • 相关文献

参考文献5

二级参考文献9

共引文献38

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部