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多组合设备的时间延迟优化研究

Optimizing of time delay for multi-cluster tools
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摘要 针对多组合设备中时间延迟优化问题,研究构建了一种时间延迟优化模型,并提出了启发式算法进行求解。首先对多组合设备稳态生产过程进行描述,在此基础上探究了机械手等待时间对时间延迟的影响机制,继而建立了以降低时间延迟为目标的机械手等待时间分配模型,提出改进的多目标灰狼算法进行求解。最后通过案例验证了算法的可行性与有效性。 Aiming at the time delay optimization problem in multi-cluster tools,a time delay optimization model was established and the solving heuristic algorithm is developed.We first describe the steady state production process of multi-cluster tools.Based on this,the influence mechanism of time delay caused by robots waiting was analyzed,and then a robot waiting time allocation model to reduce time delay was established.An improved Multi-objective evolutionary algorithm based on decomposition-grey wolf optimizer(MOEA/D-GWO)algorithm was proposed to solving the model.Finally,examples were given to demonstrate the efficacy of the methodology.
作者 潘春荣 龙志强 PAN Chunrong;LONG Zhiqiang(School of Mechanical and Electrical Engineering,Jiangxi University of Science and Technology,Ganzhou 341000,CHN)
出处 《制造技术与机床》 北大核心 2021年第10期109-113,共5页 Manufacturing Technology & Machine Tool
基金 国家自然科学基金项目(51665018) 江西省研究生创新专项资金项目(YC2019-S312)。
关键词 晶圆制造 多组合设备 时间延迟优化 MOEA/D-GWO算法 wafer fabrication multi-cluster tools the time delay optimization MOEA/D-GWO algorithm
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参考文献2

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