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美国研究人员开发出用钽制造致动器和传感器2021年6月26日,美国卡内基梅隆大学的研究人员开发出一种用于微机电系统(MEMS)热致动器和传感器的有效替代材料。研究人员用钽制造微机电热致动器,这既降低了操作温度,也降低了驱动所需的能量消耗。研究结果发表在《自然微系统与纳米工程》上。