分子泵抽气槽附近流场和抽气性能理论研究

分子泵是对专用设备进行抽空,保持内部压力小于一定量级,以减小专用设备能耗的重要装置。文章针对不同型号专用设备进行分子泵的设计和优化。主要需要针对分子泵组成结构、槽型、径向尺寸、有效高度等进行优化设计,为此根据分子泵附近气流稀薄状态,选择使用FLUENT软件和直接蒙特卡洛方法,对分子泵抽气槽附近流场进行了计算,同时采用直接蒙特卡洛方法对分子泵进出口压力和压比进行了计算,确定了满足专用设备使用要求的分子泵槽型。同时提出一种特殊结构分子泵,使得分子泵抽气槽附近没有气体分子集中和压力偏高现象,可以在专用设备内部使用。