摘要
HL-2M装置真空抽气系统包括4套涡轮分子泵机组和4套低温泵机组。辅助系统主要由设备逻辑控制与信号测量、水冷却循环系统和设备供气系统3部分组成。真空室经过100℃烘烤后真空度达到2.3×10^(-6)Pa,超过了设计预期真空度,满足超高真空技术要求。
HL-2M vacuum pre-pumping system is composed of four turbo molecular pump units and four cryo-pump units.Vacuum degree of 2.3×10^(-6)Pa was achieved,after 100℃baking of the vacuum chamber,which exceeded the design requirement and satisfied HL-2M plasma discharges.
作者
蔡潇
曹曾
张炜
李瑞鋆
冉红
蔡立君
CAI Xiao;CAO Zeng;ZHANG Wei;LI Rui-jun;RAN Hong;CAI Li-jun(Southwestern Institute of Physics,Chengdu 610041)
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第S01期355-359,共5页
Nuclear Fusion and Plasma Physics
关键词
超高真空
抽气系统
真空室
有效抽速
Ultra high vacuum
Pumping system
Vacuum chamber
Effective pumping speed
