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光学微结构阵列的仿形飞切加工工艺研究

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摘要 针对复杂表面光学零件难加工的问题,本文提出了一种在二轴机床上制备高精度金字塔型光学微结构方法。该方法涉及微结构成形原理、转动平台设计、路径规划及程序设计等。并应用自制平台,进行了光学微结构阵列的仿形飞切加工工艺研究,在高倍扫描电镜下,观察到较好的表面质量。研究表明:在二轴机床上可以实现金字塔形微结构的高精加工,对复杂表面零件摆脱对高端多轴机床的依赖具有重要意义。
出处 《云光技术》 2021年第2期39-43,共5页
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  • 1许文海,赵欢,芦永军.LED阵列式紫外固化光源光学系统设计[J].光学精密工程,2007,15(7):1032-1037. 被引量:26
  • 2王景贺,陈明君,董申,尚元江.KDP晶体光学零件超精密加工技术研究的新进展[J].工具技术,2004,38(9):56-59. 被引量:22
  • 3李荣彬,杜雪,张志辉,高栋,赵伟明.光学微结构的超精密加工技术[J].纳米技术与精密工程,2003,1(1):57-61. 被引量:26
  • 4梁静秋,侯凤杰.采用硅V型槽的一维光纤阵列的研制[J].光学精密工程,2007,15(1):89-94. 被引量:20
  • 5AUTSCHBACH L, BRINKSMEIER E, PREUB W, et al.. Manufacturing of micro structured molds for an operating light system[J]. HTM- Haerterei-Technische Mitteilungen, 2005,60 ( 3 ) :183 -189.
  • 6WECK M, HENNIG J, HILBING R. Precision cutting processes for manufacturing of optical components[J]. SPIE, 2001,4440:145-151.
  • 7BENITEZ P, MINANO J C, HEMANDEZ M. On the analysis of microstructured surfaces [J]. SPIE, 2004,5529 : 186-197.
  • 8DAVIES M A, EVANS C J, PATTERSON S R, et al.. Application of precision diamond machining to the manufacture of micro-photonics components[J]. SPIE,2003,5183:94-108.
  • 9WECK M, PFEIFER T, BRECHER C, et al.. Approach to a machine-integrated measurement and simulation tool for the manufacturing of ultra precise surfaces[C]. Annals of the German Academic Society for Production Engineering, German, 2005 : 133-136.
  • 10MORIWAKI T, SHIBASAKA T, SUZUKI H Ultraprecision diamond cutting of steel by intermittent cutting[C]. Proceedings of the 7th euspen in ternational conference. Bremen, Germany, 2007 312-315.

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