面向薄膜材料光热特性参数的FPTR检测技术研究

该文提出采用频域光热辐射测量技术(FPTR)对金刚石薄膜的光热特性进行检测。首先,建立调制激光作用于一维有限厚度试件的热波频域响应模型,并搭建光热辐射测量检测系统;其次,采用该试验系统对厚度为200μm、直径为1.5 mm的金刚石薄膜进行频域光热辐射测量技术检测试验研究,得到了调制激光作用于金刚石薄膜的光热动态响应特性;最后,采用反问题求解方法获取金刚石薄膜的光热特性参数。试验结果表明,频域光热辐射测量技术可以对金刚石薄膜进行高精度检测。