化学气相沉积金刚石膜的磨耗比测定研究

磨耗比是金刚石膜的一项主要性能指标,为准确测定金刚石膜的磨耗比,用等压对磨-体积-质量法研究对磨中的压力和时间因素对磨耗比的影响。结果表明:随对磨压力增加,微分磨耗比增加,积分磨耗比下降。对磨压力由2.45 N上升到4.41 N时,微分磨耗比增加了59.23%,积分磨耗比下降了19.01%。随摆动次数增加,二者均下降,但微分磨耗比下降更快,由摆动270次时的7.12万,下降到摆动30次时峰值的7.25%,而积分磨耗比则下降到峰值时的39.86%。随对磨时间增加,二者均下降,且微分磨耗比下降更快。