电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化

对于多晶硅的生产工艺,需要将国内传统工艺与国外工艺结合起来,重视对氯硅烷精馏的制作。本文围绕电子级多晶硅生产过程,经过研究和借鉴,根据行业领域专家意见,采取模拟计算的方法,实现对氯硅烷精馏工艺的设计和优化。本文经分析电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺,以简化流程、降低能耗为目标,从而提升多晶硅产品质量。