摘要
二次离子质谱是一种用于分析固体材料表面组分的重要手段,广泛应用于化学、生物学、微电子、陶瓷、新材料研究等领域。基于二次离子质谱测试原理,分析了其在材料研究过程中的定性分析、杂质定量分析、深度剖面分析、分布成分分析等,为材料研究同行提供借鉴。
Secondary ion mass spectrometry is an important means for analyzing surface components of solid materials and is widely used in the research fields of chemistry,biology,microelectronics,ceramics,and new materials.Based on the principle of secondary ion mass spectrometry,the qualitative analysis,impurity quantitative analysis,depth profile analysis and distribution component analysis are carried out,so as to provide a reference for the material research peers.
作者
安百江
AN Baijiang(Shaanxi Baoguang Vacuum Electric Device Co.,Ltd.,Baoji 721000,China)
出处
《玻璃》
2021年第12期25-28,共4页
Glass
基金
国防科技重点实验室基金计划(6142605200103)。
关键词
二次离子质谱
分析应用
原理特点
陶瓷新材料
secondary ion mass spectrometry
analysis application
principle and characteristics
new ceramic materials