基于PGA900的薄膜微压传感器研究

Research on thin film micro pressure sensor based on PGA900

本文基于溅射薄膜技术研制微压传感器,充分发挥溅射薄膜技术优势,通过改进芯体结构解决了输出灵敏度低的难题。使用PGA900信号调理器对薄膜微压传感器进行信号调理,通过内置算法实现传感器温度补偿和性能优化。经过试验验证,传感器的性能稳定、输出特性良好,达到了同类产品的较高水平。