摘要
介绍一种电子气体NF3的充装流程、设备及厂房的选择,并讨论了充装过程安全设计的要点。
This paper introduces the NF3 filling process,equipment and plant selection in detail,and discusses the key points of safety design of filling process.
作者
李贤武
王娟
赵冰
李梅
何伟国
LI Xianwu;WANG Juan;ZHAO Bing;LI Mei;HE Weiguo(Haohua Gas Co. , Ltd. , Luoyang 471000, China)
出处
《低温与特气》
CAS
2021年第6期12-16,共5页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
三氟化氮
充装
流程设计
安全
nitrogen trifluoride
filling
process design
safety
