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干法刻蚀机AME8110常见故障的分析与解决
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摘要
本文分析了干法刻蚀机AME8110设备在真空、射频、温度、流量等方面存在的常见故障,提出了有效的解决方法,建立了设备工艺参数baseline,并对部分参数指标实行了SPC监控,为工艺和生产的稳定性提供了保证。
作者
方文彬
谭振宙
机构地区
杭州市地铁集团有限责任公司
出处
《浙江冶金》
2021年第4期47-49,共3页
关键词
真空
射频
温度
流量
分类号
TN3 [电子电信—物理电子学]
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浙江冶金
2021年 第4期
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