薄膜传感器于智能制造的应用需求及发展初探

第四次工业革命已经悄然来临,我国也正面临着从制造大国向制造强国转变的历史性机遇。中国和国际制造业面临产业升级和革新,德国提出“工业4.0”计划,中国提出“中国制造2025”计划,其最核心的方面是智能化制造,不管是物联网还是数字化制造,最前端都将是智能化,所有这些智能化制造都离不开传感技术,面对智能制造产业的需求和技术挑战,本文介绍了面向智能制造的PVD法结构一体化温度压力薄膜传感器,通过对新时代智能制造潮流下传感器的全球需求背景研究,讨论了薄膜传感器的研究价值,分析了薄膜传感器的国内外研究进展与相关薄膜传感器制备工艺的研究,综述了其研究发展现状,着重介绍了结构功能一体化薄膜传感器的关键制备工艺与应用,并对其未来发展做出了展望。