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超纯氮气纯化器的稳定性因素分析

Analysis of Stability Factors of Ultra Pure Nitrogen Purifier
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摘要 阐述氮气纯化器为多部份组成设备,对每一组成部分定期维护可提前发现问题,对特定的组成部分做定期保养可降低该组成单元的故障率,提高氮气纯化器的稳定性。 The nitrogen purifier is a multi-component equipment. Regular maintenance of each component can find problems in advance. Regular maintenance of specific components can reduce the failure rate of the component unit and improve the stability of the nitrogen purifier.
作者 刘松青 刘君伟 李文豪 霍金虎 赵冰 LIU Songqing;LIU Junwei;LI Wenhao;HUO Jinhu;ZHAO Bing(Dalian Huabang Chemical Co.,Ltd.,Liaoning 116085,China)
出处 《集成电路应用》 2022年第2期42-43,共2页 Application of IC
关键词 氮气纯化器 稳定因素 温控系统 nitrogen purifier stability factor temperature control system
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