Mems在电力设备检测中的应用

本文提出应用于Mems可靠性测试电学测量系统方案,制作单片机测量装置,完成LABVIEW程序对其控制。完成对Keithley4200SCS半导体参数分析仪的控制,为电学测量实验设计打下基础。运用温度PID控制原理解决环境控制问题,寻找出精确的电阻测量方案。讨论疲劳试验结果,疲劳实验中主测梁电阻未发生明显变化,实验中温度控制达到预期目标。