摘要
近日,新疆众和股份有限公司6N(99.9999%)级以上超高纯铝研发成功,填补了国内空白。国际第三方检测机构法国图卢兹EAG实验室出具的检测分析报告显示,新疆众和提供的6N级以上超高纯铝样的关键微量元素均达到了ppb(浓度达到10亿分之1)级别,满足高端半导体生产技术工艺要求。6N级以上超高纯铝研发成功为我国高端半导体生产技术的发展提供了稳定可靠的超高纯铝材料,实现了超高纯铝提纯技术的突破。
出处
《特种铸造及有色合金》
CAS
北大核心
2022年第3期308-308,共1页
Special Casting & Nonferrous Alloys