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非球面面形检测系统
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摘要
由西安工业大学自行设计、研制的非球面面形检测系统是在横向剪切干涉的技术基础上,用压电陶瓷引入相移,通过采集卡和CCD获取系列剪切干涉条纹图像。经过计算机对系列扫描条纹图像的数学处理,实现了对光学非球面的快速、抗干扰、高精度测量。涵盖光学/光电研究院所、光学/光电子元器件生产企业等应用领域。
作者
肖晨
机构地区
不详
出处
《西安工业大学学报》
CAS
2022年第2期129-129,共1页
Journal of Xi’an Technological University
关键词
检测系统
横向剪切干涉
条纹图像
采集卡
西安工业大学
非球面面形
光学非球面
压电陶瓷
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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西安工业大学学报
2022年 第2期
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