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摘要国内新闻清华大学集成电路学院团队首次实现亚1nm栅极长度晶体管近日,清华大学集成电路学院任天令教授团队在小尺寸晶体管研究方面取得重大突破,首次实现了具有亚1nm栅极长度的晶体管,并具有良好的电学性能。据悉,为进一步突破1nm以下栅长晶体管的瓶颈,该研究团队巧妙利用石墨烯薄膜超薄的单原子层厚度和优异的导电性能作为栅极.

出处《中国集成电路》 2022年第4期1-9,共9页 China lntegrated Circuit

关键词集成电路晶体管栅长国内新闻石墨烯薄膜电学性能栅极研究团队

分类号 F426.63 [经济管理—产业经济] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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