电容薄膜真空计膜片建模与仿真

电容薄膜真空计包括有两个部分:传感器部分及检测电路部分。传感器内部感压元件是整个真空计的核心部分,该部件的性能优劣直接关系到整个真空计性能的好坏。本文选用恒弹性合金Inconel 600、3J53两种材料为感压膜片备选材料,并依靠有限元分析软件ANSYS进行感压膜片机械属性的分析,通过对两种薄膜材料的挠度、预张力等特性比较后,最终确定Inconel 600材料作为膜片的备选材料较为合适。