MEMS麦克风专利布局与技术发展分析

针对MEMS麦克风国内外专利文献进行检索、收集、统计及分析,文章综述了MEMS麦克风专利申请状况并重点分析了专利技术的发展情况,从MEMS麦克风芯片和封装两方面详细阐述了专利技术布局、发展脉络以及MEMS麦克风领域的最新技术研究热点。