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亚控科技管控一体化方案在电子半导体生产制造领域的应用 被引量:1

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摘要 1背景随着美国对中国芯片行业的商业制裁,中国政府大力推动本土半导体制造行业的发展,中国的半导体制造行业存在着不断增长的利润空间。为了提高国内半导体制造产线数据收集、分析、管理和智能排产等能力,半导体制造规范化并与国际标准接轨成为必需。SEMI(国际半导体产业协会)为半导体制造设备提供了完整的SECS/GEM协议标准。该协议因具有降低设备集成成本,适用于所有制造设备,可以支持无数的应用程序,而获得业界的大力支持。很多国际半导体巨头,如三星、英特尔、东芝等九十年代就开始使用SECS/GEM为基础的全自动化产品。中国企业的SECS/GEM产品需求也在国产化的大环境下在逐年上升。
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出处 《自动化博览》 2022年第4期38-39,共2页 Automation Panorama1
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