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大流量高纯氨气输送系统优化设计
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摘要
文章根据氨气的相关特性和气体输送系统特点,对大流量超高纯氨气输送系统的工作原理、输送机理和系统设计进行了分析,针对现有技术存在的问题,对大流量超高纯氨气输送系统进行优化设计,可达到避免系统二次污染、确保流量稳定性和系统可靠性的目的。
作者
于锋
机构地区
上海正帆科技股份有限公司
出处
《造纸装备及材料》
2022年第2期78-81,共4页
Papermaking Equipment & Materials
关键词
高纯氨气
输送设备
冗余设计
研究设计
MOCVD
分类号
TQ113.2 [化学工程—无机化工]
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