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电子工业气体氧化亚氮中C_(2)烃杂质分离技术研究

Separation Technology of C_(2) Hydrocarbon Impurities in Nitrous Oxide Gas in Electronic Industry
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摘要 采用氢火焰离子检测器气相色谱仪,通过前切割技术解决氧化亚氮对C_(2)烃的分析干扰,使用GDX-104色谱柱完成对氧化亚氮中乙烷、乙烯和乙炔的分离。 Hydrogen flame ion detector gas chromatograph was used to solve the interference of nitrous oxide on C_(2)hydrocarbon analysis through pre cutting technology,and GDX-104 chromatographic column was used to separate ethane,ethylene and acetylene in nitrous oxide.
作者 孙晓丽 罗旭 宋祥坤 常琳 赵家有 金炜 SUN Xiaoli;LUO Xu;SONG Xiangkun;CHANG Lin;ZHAO Jiayou;JIN Wei(Zhonghao Guangming Research and Design Institute of Chemical Industry Co. , Ltd. , Dalian 116031, China)
出处 《低温与特气》 CAS 2022年第3期45-47,共3页 Low Temperature and Specialty Gases
关键词 气相色谱 切割 氧化亚氮 C_(2)烃分析 gas chromatography cutting nitrous oxide C_(2) hydrocarbon analysis
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