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Maxμm Ultra全自动金丝键合机关键技术分析与维修维护
被引量:
1
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摘要
金丝键合机是一种高精密的半导体封装设备,现结合多年的金丝键合设备管理与维修经验,对美国K&S公司的Maxμm Ultra全自动金丝键合机工作原理、结构、维护和维修进行简单介绍。
作者
李双江
贺从勇
陶怀亮
机构地区
中国电子科技集团公司第二十四研究所
出处
《机电信息》
2022年第13期66-69,共4页
关键词
全自动金丝键合机
音圈电机
维护
维修
分类号
TN305.96 [电子电信—物理电子学]
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