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半导体芯片制造业清洁生产审核案例分析

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摘要 通过对某半导体芯片生产企业清洁生产技术改造的实例分析,分析说明半导体芯片企业在实施了一系列切实可行的清洁生产方案后,取得了较好的“节能、降耗、减污、增效”的清洁生产绩效。
作者 陈萍
出处 《进展》 2022年第11期91-93,共3页
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