大束流离子注入机常见故障分析与维修

应用材料(AMAT)9500注入机是当前国内半导体6吋线、8吋线主流大束流机型,占据着重要地位。介绍大束流9500注入机的基本结构及工作原理,并结合实际分析和探讨注入机常见故障提出多种维修措施,为相关人员提供故障维修依据。