离子注入机直线加速器原理

本文主要研究半导体领域高能离子注入机加速器的总体控制框图,阐述了谐振腔电压放大原理和直线加速器相位频率控制原理。阐述了高能粒子注入机带漂移管的谐振腔直线加速器的结构。并根据离子注入机实际测得的离子形状和电场分布方式,阐述了加速器将连续离子离散化和离散化离子的加速原理。