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GB/T 10117《高纯锑》标准解读

Interpretation of GB/T 10117《High purity antimonium》
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摘要 高纯锑主要用在半导体工业上,它是制备化合物半导体晶体和外延片的关键基础材料,可以形成锑化铟、锑化镓、锑化铝等化合物半导体,也可以作为半导体硅、锗等的掺杂剂,本文主要介绍了GB/T 10117新旧版本的主要变动内容及原因。 High purity antimonium is mainly used in semiconductor industry.It is the key material for preparing compound semiconductor crystals and epitaxial wafers.It also allows the synthesis of compound semiconductors such as indium antimonide,gallium antimonide and aluminum antimonide,and can also be used as dopants for semiconductor silicon and germanium.The purpose of this paper is to introduce the main changes and reasons in the old and new versions of GB/T 10117.
作者 李素青 朱君 LI Su-qing;ZHU Jun(China Nonferrous Metal Techno-Economic Research Institute Limited Liability Company,Beijing,100080;Dongfang Electric(Leshan)Eban high purity materials Co.,Ltd.,Leshan,Sichuan 614000)
出处 《世界有色金属》 2022年第10期163-165,共3页 World Nonferrous Metals
关键词 高纯锑 标准 High purity antimonium Standard
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