无氧腐蚀清洗腔设计及工艺过程控制

本文针对湿法腐蚀二氧化硅薄膜工艺,设计了一种无氧腐蚀清洗腔。同时介绍了湿法腐蚀二氧化硅原理,并重点阐述了无氧环境下的湿法腐蚀二氧化硅工艺过程控制。