EUV光刻机耗能巨大芯片制造商生产与节能减排难并重

集微网消息,据报道,ASML新一代EUV每台耗电约1百万瓦,三星、台积电等芯片制造大厂能源消耗巨。台积电对化石燃料高度依赖,2025年耗能估占中国台湾省的12.5%。ASML旗下新一代的EUV光刻机耗资高达1.5亿美元,包含10万个部件和长达2公里的布线。EUV光刻机体现着更先进芯片的制造过程正变得复杂和能源密集。