磁控溅射法制备铝镁合金镀层及其性能研究

在镀锌板表面应用磁控溅射技术制备Al-Mg合金镀层并研究其性能,通过改变Al靶与Mg靶功率控制Al-Mg合金成分,改变温度、Ar气压强和溅射时间确定最佳磁控溅射工艺。研究表明:使用磁控溅射方法制备的Al-Mg合金镀层光泽度好,表面光滑平整,Al-Mg合金镀层晶体颗粒均匀,合金化程度很好,膜的附着性也较好;检测Al-Mg镀层的主要组分为Al_(12)Mg_(17),择优取向为(411);通过电化学试验和盐雾试验表明,Al-Mg合金镀层有着良好的耐腐蚀性。最佳工艺条件:Mg靶功率为8.5W,Al靶功率为565W,基片温度为200℃,p_(Ar)=0.3Pa,镀层的成分为:Mg为4.12wt%,Al为95.88wt%,此工艺条件下镀层耐腐蚀可达96小时。