氟碳纳米结构薄膜调控干式电抗器二次电子发射特性研究

Study on the Regulation of Secondary Electron Emission Characteristics of Dry Reactors by Fluorocarbon Nanostructured Films

当前,广泛采用的修饰方法包括粗糙化处理构建微/纳米级陷阱和沉积以银、氮化钛、阿洛丁为代表的低二次电子发射系数镀层,然而由于表面氧化、吸附水分子和羟基自由基等原因,内二次电子的平均散射自由程延长,逸出能力增强,导致上述金属和半导体镀层抑制二次电子发射的效果欠佳。本文针对上述问题提出以低表面能的氟碳薄膜为镀层材料,结合绝缘材料二次电子发射特性的微观影响因素,提出氟碳薄膜的二次电子发射特性宏观调控方法。