摘要
微机电系统技术和太赫兹技术被誉为21世纪具有革命性的高新技术。微机电系统(MEMS)是指采用微电子工艺实现微纳米尺度的电子机械系统,被广泛应用于传感器、电子器件集成领域;太赫兹技术则是指频段在100G H z以上的相关技术,如太赫兹通信、太赫兹探测、太赫兹成像等。这是两个完全独立的技术领域,但看似不相关的两方面技术却在中国电科网络通信研究院北京研发中心(以下简称“网通院北研中心”)进行了“融合”并在通信领域结出了“累累果实”。
出处
《科学中国人》
2022年第18期60-60,共1页
Scientific Chinese