半导体清洗剂可温控循环利用系统设计

为提高对半导体清洗剂的循环使用能力,实现在清洗过程中对半导体清洗剂温度的有效控制,开展半导体清洗剂可温控循环利用系统的设计研究。选用SENSIRION-SHT20型号温度传感器、WALKERA 39A55型号小型加热装置作为该系统的主要硬件设备。在硬件设备的支撑下,设计基于PID的半导体清洗剂温度调节控制、设定半导体清洗剂回收使用频率、优化半导体清洗剂循环使用模式。完成设计后,通过实验证明,在半导体清洗工作中,应用提出的循环利用系统能够有效提高对清洗剂的利用效率,从而减少清洗过程中的浪费。