半导体晶圆厂洁净室无内支撑华夫板安装技术与应用

本工程华夫板模壳为SMC模壳,采用外里面加肋华夫桶(每面5道附加肋骨),无须安装时采用内支撑加固。其主要材料是玻璃高分子纤维材料,需要经过140~160℃的高温压铸方可成型,是热固性强化材料的主要代表,大体上可以分为原材料以及副资材两个部分。例如,抑制剂、填充材料、硬化剂以及不饱和聚酯树脂等SMC模壳,尺寸1200mm×1200mm×995mm,直径340mm四孔,玻璃纤维含量30%±5%,壁厚5mm,顶壁厚4mm,厚度偏差允许±1mm;拥有配套设施的ABS盖板、嵌缝胶体、盖满SMC平板,含填缝硅胶,固定螺丝,玻璃纤维含量30%,壁厚4mm,肋高28mm。