洁净室内洁净度的影响要素

洁净室的主要作用是持续提供符合预期的洁净环境,洁净度是评价洁净室等级的核心技术指标。从洁净室的工程建造角度分析,影响洁净度的要素包括建筑设计和施工质量;从洁净室的管理运维角度分析,包括人员、物料和动态过程控制。当静态评价洁净度时,各要素的系别显现独立,但当动态洁净度表现异常时,影响要素间均可呈现蝴蝶效应,该研究结合实例缺陷对洁净度的影响要素提出管控思路。