摘要
真空是电子传输的最理想介质,没有晶格碰撞和能量耗散,电子饱和速度接近光速。如果利用先进微纳工艺将固态电子输运沟道“挖空”,使该间隙尺寸接近甚至小于电子在空气中的平均自由程,则可实现全新原理的微纳真空-固态电子器件(亦可称作微纳空气沟道器件等),其电子在空气中即可无散射的弹道输运,拥有半导体器件难以具备的超快响应速度、超高输运效率、超高工作频率、超高响应度以及优异的抗辐照耐高温特性,可以与固态电路与器件进行集成,是现代电子信息系统突破速度、频率、小型化瓶颈的可行的技术路线之一。目前,这种新型器件得到了广泛的关注,已成功用于实现皮秒级开关、毫米波振荡源等,体现了其在速度、高频率等方面的优势。
出处
《真空电子技术》
2022年第6期I0001-I0001,共1页
Vacuum Electronics