摘要
为了实现振动物体精密测量,设计了单频固体激光Mach-Zehnder干涉仪微振动测量系统。该系统采用激光二极管泵浦1064nm单频固体激光器作光源,在传统Mach-Zehnder干涉仪光路中设置两个超声频率相差100kHz的声光移频器,被测振动物体引起测量光频率产生多普勒频移,用光电探测器探测参考光与测量光的外差干涉信号并进行处理,即可得到振动物体的频率和振幅。建立了1064nm单频固体激光双移频器Mach-Zehnder干涉仪微振动测量实验系统,设计了基于FP-GA的信号采集与传输系统及外差干涉振动测量算法,实验研究了压电陶瓷片微振动特性,实验研究结果表明,微振动信号的频率和幅值的相对测量误差分别小于0.22%和3.85%。
