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耐高温宽频、超高声压噪声传感器件及应用关键技术研究

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摘要 航空航天重型、大推力运载装置,其工作过程产生的超高声压级噪声,最大声压级可达180,dB,且在频域上包含了次声波、声波、超声波各种分量,其环境常常伴有辐射高温.其中,高声压噪声会严重破坏飞行器结构、载荷、精密电子器件,是重型、大推力运载装置飞行过程的重大安全隐患.在国家自然科学基金、山西省基础研究计划项目、装备预先研究基金及企业技术开发等项目支持下,提出并完成了基于法布里-珀罗腔光学谐振效应的无振膜噪声传感新方法的研究,突破了声传感测试由传统"声-机械-压(光)-电"到"声-光-电"探测新模式的转变.开发了耐高声压全固态微型法布里-珀罗腔MEMS制造工艺,突破了谐振光束声波调制的信号检测与传输技术,构建了宽频、超高声压噪声测试系统,解决了航空航天高温等恶劣环境宽频、超高声压噪声测试技术难题.
出处 《中国科技成果》 2023年第1期57-59,共3页 China Science and Technology Achievements
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