微波功率器件测量不确定度评定

本文针对微波功率器件特殊的封装形式,分析了测量夹具引入误差的不可忽略性,进而对测量夹具的误差校准及整个测量系统的校准进行了介绍。文章以微波功率器件测量系统为对象,对整个测量系统的误差来源进行了分析,并以S21为例对测量结果进行了不确定度评定,通过试验数据说明测量夹具误差去除前后对测量结果的影响,对微波功率器件的测量具有可参考的价值。