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直拉法单晶硅生长原理及工艺分析

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摘要 单晶硅作为集成电路和太阳能光伏发电产业的基础材料,成为通讯、微电子和航空航天等高科技领域中的关键性材料。直拉法是当前制备单晶硅的主要技术之一,本文重点介绍了直拉法生长单晶硅的基本原理及工艺条件,并简单介绍了目前几种新型直拉技术。
作者 马亚苹
机构地区 不详
出处 《中国粉体工业》 2023年第1期29-32,共4页 China Powder Industry
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参考文献4

二级参考文献25

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