对三氟化氮几种制备技术和纯化技术的探讨分析

三氟化氮是微电子产业中使用的特种气体,是电子刻蚀气主要产品,主要用于生产半导体芯片、液晶平板显示器及光伏电池等。本文介绍了三氟化氮气体的特性,对其几种制备技术、纯化、精馏技术进行了分析和探讨。