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摘要 2022年国内科技新闻(一)1.首次制成栅极长度最小的晶体管清华大学集成电路学院团队首次制备出亚1纳米栅极长度的晶体管,该晶体管具有良好的电学性能。相关成果在线发表在3月15日的《自然》杂志上。为进一步突破1纳米以下栅长晶体管的瓶颈,清华大学团队巧妙利用石墨烯薄膜作为栅极,通过石墨烯侧向电场来控制垂直的二硫化钼(MoS2)沟道的开关,从而实现等效的物理栅长为0.34纳米。

出处《考试与招生》 2023年第2期9-9,46,62,共3页

关键词栅长集成电路石墨烯薄膜电学性能栅极晶体管清华大学

分类号 TN3 [电子电信—物理电子学]

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