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一种扩散硅压力变送器的设计
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摘要
扩散硅压力变送器的测压传感器是由半导体硅材料组成,其最大特点就是温度特性。当温度改变时,与压力成比例的输出信号会有较大变化,由此造成较大的测量误差。实验证实,在相同条件下,温度变化1℃,会有0.1%的误差。压力输出受温度变化的影响是扩散硅传感器面临的技术难点,文章通过采用线性插值法的温度修正方式,设计了一款高准确度的扩散硅压力变送器。
作者
胡永良
郑永富
机构地区
太原太航德克森自控工程股份有限公司
出处
《中国计量》
2023年第4期55-58,共4页
China Metrology
关键词
压力变送器
扩散硅压力传感器
线性插值法
温度修正
低功耗
分类号
TH812 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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